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| 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) |
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| 中國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn) |
| 發(fā)布時(shí)間：2012-10-14 21:23:41 閱讀：3169次 |
化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L
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水質(zhì)項(xiàng)目 |
一級(jí)高純水指標(biāo) |
二級(jí)高純水指標(biāo) |
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電阻率（25℃）MΩ·cm |
≥15 |
≥10 |
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電導(dǎo)率，μs/cm |
0.05 |
0.1 |
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PH值 |
6.8～7.2 |
6.6～7.4 |
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細(xì)菌總數(shù)，個(gè)/mL |
＜3 |
＜9 |
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微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） |
＜150 |
＜300 |
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二氧化硅 |
＜10 |
＜20 |
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有機(jī)物（以COD計(jì)） |
＜0.3 |
＜0.5 |
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鈉 Na |
＜0.5 |
＜2 |
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鐵 Fe |
＜1 |
＜2 |
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銅 Cu |
＜0.5 |
＜1 |
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鈣 Ca |
＜1 |
＜3 |
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鎂 Mg |
＜0.2 |
＜1 |
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錳 Mn |
＜0.2 |
＜0.5 |
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鋅 Zn |
＜0.5 |
＜1 |
說(shuō)明：①一級(jí)高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。 ②二級(jí)高純水適用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
③本表按1980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。 |
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